1、大量氣體和油排出時沖擊擋油板等零部件時發(fā)出的噪聲。

如果零件剛性不足，或未緊固，產(chǎn)生振動與碰撞，會使此項噪聲增大。因此擋油板不僅應有足夠剛度并緊固，而且，在需與其他零件接觸時，利用夾橡膠的方法可避免振動引起的碰撞噪聲，并改善擋油效果。

2、薄膜真空泵內部的噪聲

微型真空泵吸氣時，進氣口和閥腔內產(chǎn)生劇烈的壓力波動，氣體的壓力波動以聲波的形式從進氣口輻射出來，形成進氣口噪聲。排氣時氣流迅速流經(jīng)出口處產(chǎn)生聲波形成排氣口噪聲。轉速越高，壓力越大，流量越大，噪聲越大。這種噪聲無法*消除，改進泵體設計、可以起到降噪作用。

3、旋片式真空泵排氣閥片對閥座和支持件的撞擊噪聲

吸入的氣體量大，泵的循環(huán)油量多，閥片噪聲就越大，閥的面積大，閥片噪聲也大，閥片材料也有一定影響。橡膠閥片的噪聲比鋼片或層壓板好。為此，要節(jié)制進油量，閥片關閉要及時，要嚴密。

4、真空干燥箱箱體內的回聲和氣泡出現(xiàn)裂縫聲

箱體內的回聲和氣泡破裂聲氣量增大時，此項噪聲將增大。因此，開氣鎮(zhèn)時或通大氣時此項噪聲會明顯增大。如果氣鎮(zhèn)量可調，則可合理調節(jié)氣鎮(zhèn)量。

5、旋片式真空泵的旋片對缸壁撞擊產(chǎn)生噪聲、泵殘存容量和排氣死隙中的壓力油的發(fā)聲。

宜采用園弧面分隔進排氣口的結構。用排氣導流槽消除死隙。

另外，真空干燥箱電機也是重要的噪聲源。